Sistema ótico único que permite analisar tanto superfícies rugosas (confocal) como lisas (interferometria) ou ainda superlisas (interferometria de deslocamento de fase). Resolução lateral com escala submicrométrica e a resolução vertical com escala nano métrica através do sistema confocal, e com uma resolução subnanométrica na dimensão z através do sistema de interferometria.

O modo confocal é utilizado para medir a topografia das superfícies muito rugosas e lisas. Podendo-se visualizar ainda as estruturas superficiais finas sem qualquer contato com a superfície da amostra. A amostra deverá ser escaneada verticalmente em um tempo curto sendo que todas as superfícies fora de foco deverão ser automaticamente descartadas construindo uma imagem tridimensional detalhada com elevada resolução e contraste.

O modo de interferometria quando aplicado servirá para obter a máxima resolução vertical. Com objetivas próprias para interferometria, para iluminação refletida e com a imagem adquirida através de um conjunto de espelhos de referencia de altíssima resolução, permite a formação de uma imagem com franjas de interferência, gerando através de software próprio uma imagem tridimensional de altíssima resolução e contraste, podendo ainda executar a medição por interferometria de escaneado vertical ou por deslocamento de fase.

Sistema com baixo custo de manutenção, com sistema de iluminação através de LED luminosos com luz branca para imagens confocais e azul para alta resolução, através de disco giratório, sem necessidade de alinhamento ou substituição com padrões especiais, gerando assim um custo de trabalho e manutenção muito baixos.

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